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產(chǎn)品中心
PRODUCT CENTER
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源瓶

針對(duì)不同的ALD工藝，原磊自主創(chuàng)新設(shè)計(jì)的ALD前驅(qū)體鋼瓶，包括冷源鋼瓶、熱源鋼瓶以及雙口熱源鋼瓶三種類型。這些鋼瓶采用316L高純不銹鋼材質(zhì)，容量范圍廣泛，從常規(guī)的100ml到600ml不等。同時(shí)，我們還可根據(jù)客戶需求定制大容量鋼瓶，其密封性能卓越，漏率低至1*10E-9 mbar*L/s，可廣泛應(yīng)用于ALD真空鍍膜設(shè)備中。
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產(chǎn)品描述

源瓶特點(diǎn):

1、所有管件采用316L不銹鋼

2、閥門為美國(guó)世偉洛克球閥和隔膜閥;

3、密封墊片采用電化學(xué)拋光;

4、氦質(zhì)譜檢測(cè)泄漏率≤1.0*10-9mbar L/s;

5、可盛裝化學(xué)品純度>99.9995;

6、鋼瓶體積：100~600ml，1L，1.2L，可定制;

7、鋼瓶類型：?jiǎn)慰诶湓?、單口熱源、雙口熱源

8、可提供非標(biāo)定做。

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