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產(chǎn)品中心
PRODUCT CENTER
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T3平臺
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T3平臺

原磊的 Tutra-200 / Tura-300 型真空傳輸系列產(chǎn)品在嚴(yán)苛的設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)和制造環(huán)境下誕生，確保設(shè)備在 Fab 中運行的高穩(wěn)定性和高潔凈度。其模塊化的設(shè)計不僅縮小了占地面積，提升了擴展性，而且使快速應(yīng)對各種布局需求成為了可能。
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產(chǎn)品編號
數(shù)量
-
+
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1
產(chǎn)品描述

技術(shù)指標(biāo):

晶圓尺寸：200/300mm

最高溫度：380℃

預(yù)真空腔：25pc*2

最大PM數(shù)量：10

機械爪材料：陶瓷 /其他

冷卻方式：PN2/水

AWC 精度/范圍：±0.01mm / 6mm

未找到相應(yīng)參數(shù)組，請于后臺屬性模板中添加

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