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Batch 25系列
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Batch 25系列

Batch 25系列是我司自主研發(fā)的多片式 ALD 系統(tǒng)。采用獨(dú)特的腔體結(jié)構(gòu)及進(jìn)氣方式，有效降低生產(chǎn)成本和提高產(chǎn)能，保證優(yōu)質(zhì)的薄膜性能；可一次性沉積25片8寸晶圓，滿足中試線以上的量產(chǎn)規(guī)模需求，適用于先進(jìn)封裝、光伏等多個領(lǐng)域。
零售價(jià)
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市場價(jià)
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產(chǎn)品編號
數(shù)量
-
+
庫存:
0
1
產(chǎn)品描述

技術(shù)參數(shù)                

晶圓尺寸：8英寸                

裝片能力：25片/腔        

適用工藝：TiO2、Al2O3、SiO2等                

應(yīng)用領(lǐng)域：先進(jìn)封裝、光伏等

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